半導(dǎo)體檢測(cè)的測(cè)試系統(tǒng)稱為ATE，由電子電路和機(jī)械硬件組成，是由同一個(gè)主控制器指揮下的電源、計(jì)量?jī)x器、信號(hào)發(fā)生器、模式的合體，用于模仿被測(cè)器件將會(huì)在應(yīng)用中體驗(yàn)到的操作條件，以發(fā)現(xiàn)不合格的產(chǎn)品。

測(cè)試系統(tǒng)硬件由運(yùn)行一組指令(測(cè)試程序)的計(jì)算機(jī)控制，在半導(dǎo)體檢測(cè)時(shí)提供合適的電壓、電流、時(shí)序和功能狀態(tài)給DU測(cè)試的結(jié)果和預(yù)先設(shè)定的界限，做出相應(yīng)的判斷。

半導(dǎo)體檢測(cè)的測(cè)試程序的目的是控制測(cè)試系統(tǒng)硬件以相應(yīng)的方式保障被測(cè)器件達(dá)到或超過它的那些被具體定義在器件規(guī)格書里的程序通常分為幾個(gè)部分，如DC測(cè)試、功能測(cè)試、AC測(cè)試等。DC測(cè)試驗(yàn)證電壓及電流參數(shù);功能測(cè)試驗(yàn)證芯片內(nèi)AC測(cè)試，以保障芯片能在特定的時(shí)間約束內(nèi)完成邏輯操作。