電子能譜分析法是指采用單色光源（如X射線、紫外光）或電子束去照射樣品，使樣品中電子受到激發(fā)而發(fā)射出來，然后測量這些電子的產(chǎn)額（強(qiáng)度）對其能量的分布，從中獲得有關(guān)信息。

　　特點

　　1)除氫和氦元素之外，可以分析所有其他元素，能直接測定來自樣品的單個能級發(fā)射的光電子能量分布，直接得到電子能級結(jié)構(gòu)的信息。

　　2)從能量范圍來看，電子能譜提供的信息可視為“原子指紋”，能測定原子價層電子和內(nèi)層電子軌道，提供有關(guān)化學(xué)鍵方面的信息。而相鄰元素的同種能級的譜線相隔甚遠(yuǎn)，相互干擾少，元素定性分析的標(biāo)識性強(qiáng)。

　　3)電子能譜分析是一種無損傷分析。

　　4)電子能譜分析是一種高靈敏度超微量表面分析技術(shù)。分析所需試樣量約10-8g即可，*靈敏度可達(dá)10-18，樣品分析深度為2nm。